氦质谱检漏仪中分子泵与油泵的区别介绍深

如今，越来越多的大型涡轮分子泵或低温泵被用来代替油扩散泵系统，以防止油蒸气污染。因此，近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显著的改进和发展。

与油扩散泵相比，涡轮分子泵具有启动速度快、有机蒸汽污染少、真空极限高的特点。因此，分子泵被用作氦质谱泄漏检测器的高真空系统。即使泄漏检测器不使用液氮冷陷阱，质谱室也不会被严重污染，并能保持较低的底部或噪音。这有利于提高氦质谱泄漏检测器的灵敏度和稳定性，延长离子源的使用寿命。