微量氧分析仪常用于空分制氮、化工工艺、磁性材料等高温烧结炉的保护性气体、电子工业的保护性气体和玻璃、建材行业的氧含量的在线分析。
微量氧分析仪的使用方法主要是：启动便携式微量氧分析仪，使其处于正常工作状态，然后斜挎便携式微量氧分析仪的头部，手持抗氧化、抗腐蚀的探测杆。移动手中的探测杆检测环境中需要检测的微氧气体的浓度。如果找到泄漏点，但不知道究竟是哪里泄漏的话，可以用仪器找到泄漏点，浓度高的地方是泄漏点。
结构方面，微量氧分析仪是一种显示表头和检测探杆分体的产品，可以像手持一样移动检测，也可以作为在线台式检测，更适合一些特定的地方。
此外，微量氧分析仪还具有存储记忆功能，可以记录你检测过程中的每秒数据，方便你后续检测记录数据的查询和电脑打印。
此外，使用微量氧分析仪你还需要知晓：
1.微量氧分析仪的配套管道应密封，这是因为即使是微小的泄漏，也会扩散环境空气中的氧，使测量值偏高。
2.微量氧分析仪的管道材料基本上是铜或不锈钢管，其次是聚四氟乙烯管。禁止选择乳胶管、白胶管等管道，其气密性和材料耐渗透性都比较差，标准测量压力下测量微量氧会导致误差过大。而且，所选阀门和接头的死体积应尽可能小。
3.为了防止样品中的水分凝结在管壁上，引起微量氧的溶解吸收，应该对取样管道根据情况采取绝热保温或伴热保温措施。在检测液氮中的微量氧时，应特别注意加热措施。否则，由于氧沸点低于氮沸点13度，样品气气化不均匀，测量值就会严重降低。
4.原则上，微量氧分析仪的测量位置应尽可能接近测量单位，这样可以避免管道过长和不确定因素过多，影响测量数据的可靠性。
5.样品气中不得含有油或固体颗粒物，以免造成渗透膜堵塞和污染。
6.样品气中不应含有硫化物、磷化物或酸性气体，这些成分会危及微量氧分析仪的燃料电池，尤其是碱性燃料电池。