氦气纯化设备是通过一系列步骤将工业氦气提纯成纯度不低于99.%的超纯氦气。
本实用新型是这样实现的，一种超纯氦气净化装置，其特征在于：包括原料泵、稳压罐、膜式压滤机、净化器、超纯氦气充填元件和张力计；所述的原料泵、缓冲罐、膜式压力机、净化器和超纯氦气填充元件依次通过管道连接，压力计位于净化器和超纯氦气填充元件之间。
所述的净化器包括盲法兰、感应部分、净化部分、排气管和净化器底座；所述的感应部分包括进水管和换热盘管；所述的净化部分包括吸附剂筒体、减温盘管、液氮入口、气氮排污管和泄漏液罐；所述的净化器型材为真空夹套烧瓶，顶部固定有盲法兰，所述的进气管插入盲法兰并与换热盘管连接，换热盘管尾端连接气动管并插入吸附材料筒体内，所述吸附剂筒体两侧固定有减温盘管，所述液氮入口位于底部，净化器侧，
所述的膜式压榨机与净化器的连接管道上还有另一根管道，通向原料泵，在该管道上设置有循环阀。
所述的膜式压力机与净化器之间设有一个净化阀。
所述的超纯氦净化装置还包括活化再生单元，由电热棒、油封旋转泵、压力计和抽气阀组成。所述的油封旋转泵通过管路连接逃逸管，压力计和抽气阀为安装在所述管道上，所述电热棒垂直方向插入净化器吸附材料圆柱壳内。
本实用新型的有益效果是，采用高压低温净化技术，增加了吸附材料的吸附性能，产生的超纯氦气可直接装瓶，避免装瓶，减少污染，同时与增压器增压，高压吸附净化还增加了吸附剂的负载能力和净化深度，保证了产品的品质。采用填充活性椰子炭和增强型孔隙球形硅胶共混吸附剂材料，其中硅胶抗压性能变异气体冲击比传统的吸附剂活性炭强，实际上硅胶在吸附圆柱壳中起到了骨架的作用，从而可以降低活性炭的风化速度，另外，硅胶和活性炭的再生温度大致相同，非常耦合。采用换热盘管换热，经过冷换热后传给原料氦气可以带走净化后的氦气，从而可以减少生产过程中液氮的消耗，降低生产成本。利用低温净化器的气氮排污管控制吸附器的液氮液位，计算确定插入高度低温吸收净化器液氮瓶杜瓦瓶内的气氮排污管，当液氮表面超过气氮排污管入口时，此时管阀口喷出的不是气氮而是液氮，说明液氮表面已经超过了气氮排放管的入口高度，因此适当调节液氮的加入量，使其排出气氮和非水射流氮气，从而达到控制液氮液位的目的.气氮排污管插入液氮瓶杜瓦瓶内的高度，可根据净化结果适当吊装。可根据净化结果适当提升。可根据净化结果适当提升。