智能氮气柜对比传统柜优点和半导体晶圆氮气

氮气柜是外接氮气气源,通过流量计进入氮气控制系统中,然后经过多个细小的出气孔分散的进入氮气柜箱体内部,可以确保氮气的分布均匀无死角。氮气柜本身对氮气的纯度无要求,当然纯度越高的氮气对电磁阀的寿命是有着延长的作用,如杂质过多的话,可能会导致电磁阀提前损坏,而氮气无法正常进入氮气柜内部或无法控制氮气的自动供应与自动切断。

氮气柜的氮气流量及纯度和压力说明

氮气柜需要外接氮气源,柜内充入高纯氮气,通过空气置换去除原有空气,可以降低柜内湿度和氧气含量,为半导体晶片、太阳能硅片、贵金属等易氧化物质提供更安全的储存环境。氮气柜采用微电脑控制系统,节省氮气消耗。用户可以自由调节柜内的湿度值或含氧量值。内置高精度传感器配合微电脑控制器,达到全自动操作的效果。无需人工干预即可设置一次。

所以智能传统氮气柜的基础上加入氮气控制系统,通过高灵敏的湿度传感器,监测柜体内的湿度,将采集的信号反馈给控制系统,进而控制氮气的充入与停止的一种新型氮气控制柜。

与传统氮气柜对比,智能氮气柜具有如下优点:

1.智能氮气柜可有效节省氮气消耗量,降低生产成本。传统氮气柜不具备氮气控制装置,仅通过氮气阀门或者流量计来调整氮气消耗量,持续充入氮气,无控制,导致氮气不断以高压状态持续充入,消耗,智能氮气柜则是在柜内氮气充满后,自动停止充入,内部配置电磁阀装置,切断氮气源,同时,对于漏气量也有相应的减轻作用。开关门后

,控制系统会有一个延迟充氮功能,这些都能够起到很好的省氮作用。通过具体的实验证明,智能氮气柜可比传统氮气柜节省氮气量70%甚至更高。

2.智能氮气柜具有温湿度监测功能。传统氮气柜不具备温湿度监测,而智能氮气柜配置温湿度显示模块,柜内的温湿度状况一目了然,更利于管控。




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