AlN于年首次合成,但直到年代中期,其在微电子领域的应用潜力才刺激了高质量商业可行材料的开发。
AlN是通过氧化铝的碳热还原或通过铝的直接氮化合成的。它的密度为3.26g.cm-3,虽然它不熔化,但在大气压下在°C以上分解。该材料是共价键合的,无需液体成型添加剂的帮助即可抗烧结。通常,诸如Y2O3或CaO之类的氧化物允许在-°C之间的温度下实现烧结。
关键属性
AlN可抵抗大多数熔融金属的侵蚀,尤其是铝、锂和铜它可以抵抗大多数熔盐的侵蚀,包括氯化物和冰晶石陶瓷材料的高导热性(仅次于氧化铍)高体积电阻率高介电强度它受到酸和碱的侵蚀在粉末形式中,它容易被水或湿气水解